Где в Китае заводы расходных материалов для полупроводникового оборудования? 

Когда спрашивают про это, многие сразу думают о Шанхае или Сучжоу. Это логично, но не совсем точно, если говорить именно о расходниках — тех самых деталях, фильтрах, уплотнениях, которые изнашиваются и требуют постоянной замены. Тут география сложнее и, скажу честно, часто упирается не в громкие имена, а в цепочки поставок, о которых снаружи мало кто знает.

Что вообще считать расходным материалом?

Тут сразу первый нюанс. Не все понимают разницу между самим оборудованием и тем, что в нём потребляется. Керамические держатели пластин (wafer chucks), точные фильтры для химикатов и газов, специализированные уплотнительные кольца, даже щётки для чистки — вот это поле. Часто это не высокомаржинальные чипы, а высокотехнологичные, но штучные изделия из особых материалов. Их производство может быть разбросано.

Мой опыт показывает, что ключевые кластеры формируются не просто вокруг фабрик по производству чипов (fabs), а вокруг центров, где есть компетенции в обработке керамики, высокочистых полимеров, специальных металлов. Например, в провинции Цзянсу, но не только в Сучжоу. Города типа Уси или Чанчжоу имеют сильную базу в прецизионном машиностроении и керамике. Там можно найти небольшие, но крайне специализированные заводы, которые делают, скажем, керамические компоненты для плазменных камер. Они могут не светиться в общих рейтингах, но их продукция идёт в сборку или на замену.

Одна из частых ошибок — искать одного крупного игрока, который делает всё. Чаще это сеть из десятков поставщиков 2-го и 3-го уровня. Я как-то потратил месяца три, пытаясь локализовать производство одной конкретной мембраны для газового фильтра. Оказалось, сама мембрана ткётся на одном заводе в Тяньцзине, а корпус и фитинги к нему — в Дунгуане, и только финальная сборка и аттестация на чистоту происходят в Шэньчжэне. География диктуется наличием специфического сырья и оборудования.

Роль специализированных производителей материалов

Вот здесь стоит сделать отступление. Иногда сам расходник рождается из материала. Скажем, для фильтрации высокоагрессивных химикатов или для термостойких прокладок нужны не просто ткани, а ткани из специальных волокон — полиимидных, PTFE, углеродных. Производство таких волокон — это отдельная, очень нишевая индустрия.

Я вспоминаю проект, где нам нужна была особая тканая лента для очистки роботизированных манипуляторов. Стандартные решения не подходили по абразивности и остаточной электростатике. В итоге нашли производителя, который как раз работает с такими спецзапросами — ООО Чжэнчжоу Шэнюань Специальное волокно ткачество. Заглянул на их сайт sytx.ru — видно, что компания серьёзно оснащена: оборудование из Германии, Японии, Швейцарии. Важен не только объём (у них заявлено более 3200 тонн в год), а именно возможность работать с мелкими, но высокотехнологичными заказами. Они, кстати, указывают аэрокосмическую и медицинскую сферы, что часто пересекается по требованиям к чистоте и стабильности с полупроводниковой отраслью.

Такие компании — часто недостающее звено. Они могут не позиционировать себя прямо как поставщики для полупроводников, но их материалы в итоге, после дополнительной обработки, попадают в расходные компоненты. Их завод может находиться в промышленной зоне где-нибудь в Чжэнчжоу (провинция Хэнань), что не является классическим полупроводниковым хабом, но при этом быть критически важным. Это и есть та самая скрытая инфраструктура.

Кластер Янцзы и не только

Безусловно, дельта реки Янцзы — это эпицентр. Шанхай, Сучжоу, Уси, Нанкин. Здесь сосредоточены R&D центры крупных игроков (Applied Materials, Lam Research, AMEC) и их первые линии поставщиков. Многие местные китайские производители расходников стремятся быть здесь, чтобы быть ближе к клиенту. Заводы здесь часто более современные, с чистым цехом, но и стоимость производства выше.

Но если нужны более грубые, но не менее важные металлические компоненты (корпуса, крепёж из специальных сталей), то часто смотришь на Шаньдун или Ляонин. Там традиционно сильная металлообработка. Проблема в другом: соответствие стандартам чистоты. Завод может прекрасно вытачивать деталь, но если упаковывает её в полиэтиленовый пакет на пыльном складе — вся работа насмарку. Приходилось буквально обучать поставщиков основам чистого производства.

Ещё один растущий регион — Гуандун (Шэньчжэнь, Дунгуань). Здесь сильна электроника, и логично развитие смежных областей. Много мелких высокотехнологичных цехов, которые могут делать штучные или мелкосерийные партии сложных расходников. Их плюс — гибкость, минус — иногда страдает системность контроля качества. Нужно постоянно стоять над душой.

Проблемы локализации и поиска

Главная сложность — не найти завод, а найти завод, который стабильно делает качество, соответствующее SEMI стандартам. Много раз натыкался на ситуацию: первые три партии — идеально, а в четвёртой начинается разброс параметров или появляется микроскопическая загрязнённость. Для расходника, который работает внутри CVD-камеры, это смертельно. Поэтому география часто сужается до тех, кто уже прошёл квалификацию у крупных интеграторов.

Поиск через B2B-платформы типа Alibaba даёт сотни вариантов, но 90% — это перепродавцы или производители чего-то похожего, но не того. Лучше смотреть на отраслевые выставки (например, SEMICON China) или искать по патентам на конкретные технологии. Часто маленький завод в Хэфэе или Чэнду может иметь уникальную технологию спекания керамики, потому что там когда-то работал НИИ.

Один из наших относительных успехов — локализация кварцевых держателей. Производство нашли в городе Цзинчжоу (провинция Хубэй). Там исторически развита стекольная и кварцевая промышленность. Но пришлось почти год помогать им выстраивать систему контроля дефектов и чистоты упаковки. Теперь это наш стабильный источник, о котором мало кто знает.

Будущее: рассредоточение и специализация

Сейчас, на фоне политики самообеспечения, новые производства полупроводников строят и вглубь страны — Сычуань, Аньхой, Хубэй. За ними потянутся и поставщики расходников. Но не все. Логистика высокочистых материалов сложна. Думаю, будет развиваться модель, когда ключевые, самые сложные компоненты будут делаться в продвинутых кластерах типа Янцзы, а более стандартизированные — ближе к новым фабрикам.

Крайне важным станет развитие таких специализированных материаловых компаний, как упомянутая Шэнюань. Способность создавать и ткать волокно с заданными свойствами — это фундамент для множества расходников следующего поколения. Их расположение в транспортном хабе Чжэнчжоу может стать преимуществом.

Итоговый ответ на вопрос где? будет таким: везде и нигде конкретно. Нужно искать не город, а компетенцию. Завод расходных материалов для полупроводникового оборудования в Китае может быть в индустриальном парке на окраине второго-третьего по величине города провинции, и его сайт будет выглядеть скромно. Но если у них стоит японское оборудование для контроля геометрии и они понимают, что такое частицы на уровне >0.1 микрон, то это и есть то самое место. География вторична, первичен — технологическая культура, которая, увы, прививается медленно и точечно.